| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (1, 22, 25) zur Messung des Restgasdrucks in einem Vakuum. Die Messvorrichtung (1, 22, 25) weist eine Elektronenkanone (2) sowie eine Messröhre (3, 27) auf. Die Elektronenkanone (2) sowie eine Messröhre (3, 27) sind voneinander getrennt ausgebildet und angeordnet.</p> |
