发明名称 Production de pellicules épitaxiques
摘要
申请公布号 FR82558(E) 申请公布日期 1964.03.06
申请号 FR19620905640 申请日期 1962.07.31
申请人 MONSANTO CHEMICAL COMPANY 发明人
分类号 C01B25/06;C01B25/08;C01G31/00;C22C1/00;H01L21/00;H01L21/18;H01L21/205;H01L29/00;H01L31/00 主分类号 C01B25/06
代理机构 代理人
主权项
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