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发明名称 METHODS FOR FORMING LOW MOISTURE DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 KR20130050919(A) 申请公布日期 2013.05.16
申请号 KR20127026645 申请日期 2011.03.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HUA ZHONG QIANG;LUO LEI;HERNANDEZ MANUEL A.;CAO ZHITAO;SAPRE KEDAR;BHATNAGAR AJAY
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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