用于对样品进行离子束去层的方法和系统及对其的控制

摘要

本发明提供了对离子束打磨机中的样品的层进行去层的方法、系统和计算机程序产品，所述层包括一种或多种材料，所述去层过程是通过调整离子束打磨机的一个或多个操作参数并且选择性地将上述一种或多种材料中的各材料按照它们各自的预定速率移除而实现的。本发明也提供了用于获得材料的移除速率的方法和系统，该材料来自离子束打磨机中的样品。

主权项

一种使用离子束打磨机对样品的层进行去层的方法，其中，所述层包括一种或多种材料，所述方法包括如下各步骤：a)将所述样品置于所述离子束打磨机中；b)操纵所述离子束打磨机；c)调整所述离子束打磨机的一个或多个操作特性；以及d)选择性地将所述一种或多种材料中的各材料按照各自的预定速率移除。