| 主权项 |
1.一种铜电镀液，所述铜电镀液包括：铜离子源；电解质；以及整平剂，其中整平剂包含如化学式(I)的吡啶化合物与含环氧基团的化合物的反应产物<img file="FSA00000827104700011.GIF" wi="502" he="266" />其中，R<sup>1</sup>，R<sup>3</sup>和R<sup>5</sup>各自独立地选自H，(C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>)烷基，Cy<sup>1</sup>，R<sup>6</sup>-Cy<sup>1</sup>，NR<sup>7</sup>R<sup>8</sup>，以及R<sup>6</sup>-NR<sup>7</sup>R<sup>8</sup>；Cy<sup>1</sup>是5至6元环；R<sup>2</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地选自H，(C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>)烷基，以及(C<sub>6</sub>-C<sub>12</sub>)芳基；R<sup>2</sup>可以与R<sup>1</sup>或R<sup>3</sup>连接到一起，并与和其相连接的原子一起形成稠合的5至6元环；R<sup>4</sup>可以与R<sup>3</sup>或R<sup>5</sup>连接到一起，并与和其相连接的原子一起形成稠合的5至6元环；R<sup>6</sup>为(C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>)烃基；R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>各自选自H，(C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>)烷基，(C<sub>6</sub>-C<sub>10</sub>)芳基，(C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>)烷基(C<sub>6</sub>-C<sub>10</sub>)芳基，以及(C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>)烯基(C<sub>6</sub>-C<sub>10</sub>)芳基；R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>可以接合到一起形成5或6元杂环；以及R<sup>7</sup>和R<sup>4</sup>可以连接到一起，并与和其相连接的原子一起形成稠合的5至6元含氮环；条件是当含环氧基团的化合物在环氧基团α碳原子上具有离去基团时，R<sup>1</sup>，R<sup>3</sup>和R<sup>5</sup>中的至少一个是NR<sup>7</sup>R<sup>8</sup>。 |
