发明名称 一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法
摘要 本发明公开了一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法,该方法是采用电解槽,通过电解的方法纯化甲基磺酸,该电解槽包含:阴极,阳极,阴离子交换膜,和阳离子交换膜;该阴极材料选用不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,该阳极材料选用石墨、不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,阴离子交换膜邻近阳极,且阳离子交换膜邻近阴极,该阴离子交换膜和阳离子交换膜均为单向膜。本发明提供的甲基磺酸纯化方法可以大幅降低MSA中金属离子含量、氯离子和有机氯的浓度,所有金属离子含量都低于100ppb,部分金属离子含量低于10ppb,总氯的检测低于0.3ppm;方法简单易行,成本低,易于实现工业化,能耗低,环境污染小,具有非常大的市场前景。
申请公布号 CN103103555A 申请公布日期 2013.05.15
申请号 CN201210588460.1 申请日期 2012.12.29
申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 发明人 孙江燕;梁重时;栾善东;王俊伟
分类号 C25B3/00(2006.01)I 主分类号 C25B3/00(2006.01)I
代理机构 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 代理人 贾慧琴
主权项 一种高纯甲基磺酸的纯化制备方法,其特征在于,该方法是采用电解槽,通过电解的方法纯化甲基磺酸,所述电解槽包含:阴极,阳极,阴离子交换膜,和阳离子交换膜;所述的阴极材料选用不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,所述的阳极材料选用石墨、不锈钢、钛、铂、镀铱钛板中的任意一种,阴离子交换膜邻近阳极,且阳离子交换膜邻近阴极,所述的阴离子交换膜和阳离子交换膜均为单向膜,使得甲基磺酸根负离子单向通过阴离子交换膜进入阳极区域,杂质金属阳离子单向通过阳离子交换膜进入到阴极区域。
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