一种磷扩散炉抽风管装置

摘要

本发明公开了一种磷扩散炉抽风管装置，包括抽风管与密封水箱，该抽风管为U形管，抽风管一端设置进风口，抽风管另一端设有出风口并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，抽风管底部开口并设有缩口结构；该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口，缩口结构插入张口结构密封并固定。本发明利用雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化，而在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱，并在密封水箱内进行中和无害化处理。

主权项

一种磷扩散炉抽风管装置，其特征在于：包括抽风管与密封水箱，该抽风管为U形管，抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口，该出风口开口向上并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，所述抽风管底部开口并设有缩口结构；该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口，所述缩口结构插入所述张口结构，缩口结构与张口结构密封并固定。