| 发明名称 | 导气电极板 | ||
| 摘要 | 本发明公布了一种导气电极板，包含：一导通材，具有一导接部；及数个微孔，贯穿该导通材，且该数个微孔于该导通材的分布符合下列关系式：0.35≧Ao/A≧0.045，其中，Ao为该数个微孔的透气面积总和，A为该导通材的面积。本发明导气电极板能够供气体均匀散布于电极间，且同时维持电极上的电位均匀性，以确保电浆生成的均匀度，达到提升沉积薄膜良率的功效。本发明导气电极板能够有效降低电浆中离子过度轰击的现象，以稳定沉积后的薄膜折曲度，而达到产出高品质薄膜的功效。 | ||
| 申请公布号 | CN103107057A | 申请公布日期 | 2013.05.15 |
| 申请号 | CN201110406241.2 | 申请日期 | 2011.12.08 |
| 申请人 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 发明人 | 翁敏航;陈威宇;吴奕达 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人 | 牟长林 |
| 主权项 | 一种导气电极板，其特征在于，包含：一个导通材，具有一个导接部；及数个微孔，贯穿该导通材，且所述数个微孔于该导通材的分布符合下列关系式：0.35≧Ao/A≧0.045其中，Ao为该数个微孔的透气面积总和，A为该导通材的面积。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄市楠梓区高楠公路1001号 | ||