| 发明名称 | 可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。比之单纯的四管道的库特勒湿法刻蚀新型盖板，本实用新型更具有控制方块电阻均匀性的功能。 | ||
| 申请公布号 | CN202936482U | 申请公布日期 | 2013.05.15 |
| 申请号 | CN201220660383.1 | 申请日期 | 2012.12.05 |
| 申请人 | 江苏中宇光伏科技有限公司 | 发明人 | 许成德;陈冬维;肖培玉;闵祥波 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人 | 贺翔 |
| 主权项 | 一种可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，其特征在于：所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。 | ||
| 地址 | 221621 江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路1号 | ||