发明名称 磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构
摘要 本发明公开了一种磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,抽风管底部开口并设有缩口结构,缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,张口结构内壁安装一圈密封圈,密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,缩口结构插入张口结构,固定扣与倒钩扣合,密封圈与缩口结构外壁形成密封。在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱,并在密封水箱内进行中和无害化处理,从而降低了抽风系统的腐蚀速度,避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。
申请公布号 CN103103620A 申请公布日期 2013.05.15
申请号 CN201310018337.0 申请日期 2013.01.17
申请人 陈功 发明人 陈功
分类号 C30B31/16(2006.01)I;H01L21/223(2006.01)I 主分类号 C30B31/16(2006.01)I
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人 胡根良
主权项 磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管底部开口并设有缩口结构,所述缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,所述张口结构内壁安装一圈密封圈,所述密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,所述缩口结构插入所述张口结构,所述固定扣与所述倒钩扣合,所述密封圈与所述缩口结构外壁形成密封。
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