发明名称 |
磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构 |
摘要 |
本发明公开了一种磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,抽风管底部开口并设有缩口结构,缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,张口结构内壁安装一圈密封圈,密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,缩口结构插入张口结构,固定扣与倒钩扣合,密封圈与缩口结构外壁形成密封。在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱,并在密封水箱内进行中和无害化处理,从而降低了抽风系统的腐蚀速度,避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。 |
申请公布号 |
CN103103620A |
申请公布日期 |
2013.05.15 |
申请号 |
CN201310018337.0 |
申请日期 |
2013.01.17 |
申请人 |
陈功 |
发明人 |
陈功 |
分类号 |
C30B31/16(2006.01)I;H01L21/223(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/16(2006.01)I |
代理机构 |
杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 |
代理人 |
胡根良 |
主权项 |
磷扩散炉抽风管与密封水箱连接结构,其特征在于:该抽风管为U形管,抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层,所述抽风管底部开口并设有缩口结构,所述缩口结构外壁上设有倒钩,该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体,密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构,所述张口结构内壁安装一圈密封圈,所述密封箱体上方敞口上边沿外侧安装有固定扣,所述缩口结构插入所述张口结构,所述固定扣与所述倒钩扣合,所述密封圈与所述缩口结构外壁形成密封。 |
地址 |
313100 浙江省湖州市长兴县县前东街1299号 |