发明名称 |
太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种太阳能电池的制造方法,其能够不使制造效率降低,而有效地防止异物的附着导致的光电转换性能的降低和漏泄的发生。一种太阳能电池的制造方法,该太阳能电池具有在基板的一个表面依次层叠有第一电极、光电转换层、第二电极的构造,光电转换层构成为层叠有多个光电转换单元的多结型光电转换层,光电转换单元具有多个层,上述太阳能电池的制造方法中,在形成光电转换单元的最厚的层后、且在形成另外层叠的光电转换单元中任何最厚的层之前的过程中,包括至少一个以上对在所述过程内形成的层的表面进行清洗的步骤。 |
申请公布号 |
CN103109380A |
申请公布日期 |
2013.05.15 |
申请号 |
CN201180044201.6 |
申请日期 |
2011.10.03 |
申请人 |
富士电机株式会社 |
发明人 |
下泽慎 |
分类号 |
H01L31/20(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种太阳能电池的制造方法,所述太阳能电池具有在基板的一个表面依次层叠有第一电极、光电转换层和第二电极的构造,所述光电转换层构成为层叠有多个光电转换单元的多结型光电转换层,所述光电转换单元具有多个层,所述太阳能电池的制造方法的特征在于:在形成在所述第一电极上形成的最下位的所述光电转换单元的多个层中最厚的层之后、且形成最上位的所述光电转换单元的多个层中最厚的层之前的过程中,包括至少一个以上对在所述过程内形成的层的表面进行清洗的步骤。 |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |