一种传输线自动阻抗匹配系统

摘要

本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统，属于半导体制造技术领域。所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息；位置监测模块，用于监测阻抗匹配网络的电容值信息；控制模块，用于根据幅值与相位信息和电容值信息，生成控制信号；直流电机驱动模块，用于根据控制信号生成不同的电压信号；阻抗匹配执行模块，用于根据电压信号调整阻抗匹配网络，实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。本发明提供的传输线自动阻抗匹配系统可以实时跟踪等离子体腔室阻抗变化，并自动调节阻抗匹配网络实现快速、准确地自动阻抗匹配。

主权项

一种传输线自动阻抗匹配系统，位于射频电源与等离子体腔室之间，其特征在于，所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息，并通过A/D转换输出所述幅值与相位信息；位置监测模块，用于实时监测阻抗匹配网络的电容值信息，并通过A/D转换器发送所述电容值信息；控制模块，用于接收所述功率相位检测模块输出的幅值与相位信息，以及所述位置监测模块发送的电容值信息，并根据所述幅值与相位信息和电容值信息，生成控制信号，发送所述控制信号；直流电机驱动模块，用于接收所述控制信号，并根据所述控制信号生成不同的电压信号，发送所述电压信号；阻抗匹配执行模块，用于接收所述电压信号，并根据所述电压信号调整阻抗匹配网络，实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。