高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置

摘要

本发明涉及高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置，高频天线电路能够抑制匹配电路的发热，而且能够提高具备分割天线的感应耦合等离子体处理装置的功率效率。高频天线电路用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路具有：等离子体生成天线，其用于在处理室内生成等离子体；高频电源，其对等离子体生成天线提供高频电力；匹配电路，其存在于高频电源与等离子体生成天线之间；多个分割天线，其构成等离子体生成天线，被分配通过匹配电路之后的高频电力；以及并联谐振电容电路，其被设置成与多个分割天线中的各个分割天线并联。

主权项

一种高频天线电路，其用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路的特征在于，具有：等离子体生成天线，其用于在上述处理室内生成等离子体；高频电源，其对上述等离子体生成天线提供高频电力；匹配电路，其存在于上述高频电源与上述等离子体生成天线之间；多个分割天线，其构成上述等离子体生成天线，被分配通过上述匹配电路之后的高频电力；以及并联谐振电容电路，其被设置成分别与上述多个分割天线并联。