抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法

摘要

本发明涉及一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法和系统。所述方法包括：检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；当检测到抽取气体使得谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且控制所述真空泵持续运行；当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。上述抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法和系统，通过抽气延时提高了真空度，在充入保护气体时辅以抽真空，有效抑制了油气渗入谐振腔内，提高了气体激光器的稳定性且延长了气体激光器的使用寿命。

主权项

一种抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法，所述气体激光器包括谐振腔、真空泵、驱动装置，所述真空泵与所述谐振腔相连通，所述驱动装置驱动谐振腔内的工作气体流动，所述方法包括以下步骤：检测到所述驱动装置关机后，控制所述真空泵继续运行，并控制所述真空泵抽取所述谐振腔内的气体；当检测到抽取气体使得所述谐振腔内的气压小于等于第一预设气压时，将保护气体回充入所述谐振腔内，且控制所述真空泵持续运行；当检测到所述回充保护气体使得所述谐振腔内的气压大于等于第二预设气压时，控制所述真空泵停止运行，其中，所述第一预设气压小于所述第二预设气压。