用于光刻设备的掩模版库及其掩模版盒存取方法

摘要

本发明公开一种用于光刻设备的掩模版库及其掩模版盒存取方法，所述掩模版库的外形呈一圆柱体，所述圆柱体的其中一个端面与侧面的交汇处设置有若干版盒槽，所述版盒槽容纳掩模版盒并提供一掩模版盒存取装置存入或取出掩模版盒。

主权项

一种用于光刻设备的掩模版库，其特征在于，所述掩模版库的外形呈一     圆柱体，所述圆柱体的其中一个端面与侧面的交汇处设置有若干版盒槽，所述版盒槽容纳掩模版盒并供一掩模版盒存取装置存入或取出掩模版盒。