| 摘要 |
<p><과제> 표면에 단차가 형성된 기판의 당해 표면에 적확하게 페이스트를 도포할 수가 있도록 한 페이스트 도포 장치를 제공하는 것이다. <해결 수단> 측정 위치에서 상기 기판 표면까지의 거리를 검출하는 거리 검출 수단과, 상기 거리 검출 수단에 의한 검출치에 기초하여 상기 수직 움직임 기구를 제어하여 상기 노즐의 선단과 상기 기판의 사이의 간격을 조정하는 제어 수단과, 표면에 위쪽의 면과 아래쪽의 면에 의한 단차가 형성된 기판에 페이스트를 도포하는 경우에, 상기 위쪽의 면과 상기 아래쪽의 면의 사이의 고저차로서의 깊이 값을 기억하는 기억 수단을 가지고, 상기 제어 수단은, 상기 페이스트를 상기 설정된 패턴으로 상기 기판 상에 도포하는 과정에 있어서, 상기 측정 위치가 상기 위쪽의 면과 상기 아래쪽의 면아래쪽의 면 상기 도포 위치와는 다른 면의 상에 위치할 때에는, 상기 기억 수단에 기억된 상기 깊이 값에 기초하여 상기 거리 검출 수단의 검출치에 기초한 상기 수직 움직임 기구의 이동량을 제어하는 구성으로 된다.</p> |
