喷嘴头和装置

摘要

本发明涉及一种涂布基板（6）的表面（4）的装置及喷嘴头。该装置包括：处理室（26），处理室内具有气体环境（14）；喷嘴头（2），该喷嘴头布置在该处理室（26）内；前驱物供应及排放构件。该喷嘴头（2）包括：一个或更多个第一前驱物喷嘴（8），用于使该基板（6）的该表面（4）历经第一前驱物（A）；一个或更多个第二前驱物喷嘴（10），用于使该基板（6）的该表面（4）历经第二前驱物（B）；以及一个或更多个冲洗气体通道（12），介于所述第一前驱物喷嘴与第二前驱物喷嘴（8，10）之间。在本发明中，该冲洗气体通道（12）至少部分地朝包括冲洗气体的该气体环境（14）敞开，使该基板（6）的该表面（4）历经冲洗气体。

主权项

一种喷嘴头（2），用于使基板（6）的表面（4）历经至少第一前驱物（A）及第二前驱物（B）的连续表面反应，所述喷嘴头（2）具有输出面（5）并包括：－一个或更多个第一前驱物喷嘴（8），所述第一前驱物喷嘴用于使所述基板（6）的所述表面（4）历经所述第一前驱物（A）；以及－一个或更多个第二前驱物喷嘴（10），所述第二前驱物喷嘴用于使所述基板（6）的所述表面（4）历经所述第二前驱物（B），－一个或更多个冲洗气体通道（12），所述冲洗气体通道布置在所述第一前驱物喷嘴与第二前驱物喷嘴（8，10）之间，用于使所述基板（6）的所述表面（4）历经冲洗气体，以及－一个或更多个排放件（20，24；42，46），所述排放件设置于所述第一前驱物喷嘴与第二前驱物喷嘴（8，10），用于排出前驱物（A，B），其特征在于：所述一个或更多个冲洗气体通道（12）布置成与围绕所述喷嘴头（2）且包括冲洗气体的气体环境（16）流体连接。