发明名称 蓝宝石晶体生长用可调节保温系统
摘要 本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉领域,尤其涉及一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统。一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,所述保温筒安装在底板上,所述侧部隔热屏竖直设置在底板上包住保温筒,所述上部隔热屏安装在外桶体顶部,下部隔热屏安装在底板的上表面,上部隔热屏、保温筒和下部隔热屏一起包住坩埚,所述外桶体底部安装有氧化锆底座,所述底板通过井字架安装在氧化锆底座上,所述底盘中圈和底盘外圈支撑井字架,底盘内圈活动安装。本实用通过可灵活调节的上部隔热屏、钨桶、氧化锆底座、下隔热屏,使该保温系统能够满足泡生法及其改良方法生长蓝宝石晶体的实际生产中,因工艺改动、炉台差别所需要的保温系统易调整的要求。
申请公布号 CN202936511U 申请公布日期 2013.05.15
申请号 CN201220440013.7 申请日期 2012.08.31
申请人 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 发明人 邱秋松;周凯平
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 主分类号 C30B17/00(2006.01)I
代理机构 上海科琪专利代理有限责任公司 31117 代理人 伍贤喆
主权项 一种蓝宝石晶体生长用可调节保温系统,包括上部隔热屏(1)、保温筒(2)、侧部隔热屏(4)、坩埚隔热屏(5)、下部隔热屏(6)、底板(7)、外桶体(9)、锅位调节托盘(10)和坩埚托盘(12),所述底板(7)设置在外桶体(9)内,所述坩埚托盘(12)安装在锅位调节托盘(10)上,所述锅位调节托盘(10)通过支柱(11)安装在底板(7)上,坩埚托盘(12)上设置坩埚(13) ,坩埚隔热屏(5)设置在坩埚(13)的顶部;所述保温筒(2)安装在底板(7)上,所述侧部隔热屏(4)竖直设置在底板(7)上包住保温筒(2),所述上部隔热屏(1)安装在外桶体(9)顶部,下部隔热屏(6)安装在底板(7)的上表面,上部隔热屏(1)、保温筒(2)和下部隔热屏(6)一起包住坩埚(13),其特征是:所述外桶体(9)底部安装有氧化锆底座(3),所述底板(7)通过井字架(8)安装在氧化锆底座(3)上,所述氧化锆底座(3)由底盘内圈(31)、底盘中圈(32)和底盘外圈(33)三圈构成,所述底盘中圈(32)和底盘外圈(33)支撑井字架(8),底盘内圈(31)活动安装。
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