磁控溅射装置

摘要

本发明提供一种磁控溅射装置，该磁控溅射装置配置有磁铁单元，该磁铁单元能够沿着安装靶的阴极的背面侧往复移动，该磁控溅射装置的特征在于：所述磁铁单元具有：内侧磁铁，由永磁铁构成，将一个极性的磁极面朝向所述阴极侧；外侧磁铁，以包围所述内侧磁铁的方式排列，将与所述内侧磁铁相反的极性的磁极面朝向所述阴极侧；以及板状磁轭，由强磁体材料构成，位于所述内侧磁铁以及所述外侧磁铁的与所述阴极相反的一侧，将所述内侧磁铁和所述外侧磁铁的磁极连接，所述磁轭具有与其它部分相比厚度形成得薄的部分，该形成得薄的部分是配置在沿着所述磁铁单元的移动方向的长度方向上的所述外侧磁铁和所述内侧磁铁之间的部分。

主权项

一种磁控溅射装置，配置有磁铁单元，该磁铁单元能够沿着安装靶的阴极的背面侧往复移动，该磁控溅射装置的特征在于：所述磁铁单元具有：内侧磁铁，由永磁铁构成，将一个极性的磁极面朝向所述阴极侧；外侧磁铁，以包围所述内侧磁铁的方式排列，将与所述内侧磁铁相反的极性的磁极面朝向所述阴极侧；以及板状磁轭，由强磁体材料构成，位于所述内侧磁铁以及所述外侧磁铁的与所述阴极相反的一侧，将所述内侧磁铁和所述外侧磁铁的磁极连接，所述磁轭具有与其它部分相比厚度形成得薄的部分，该形成得薄的部分是配置在沿着所述磁铁单元的移动方向的长度方向上的所述外侧磁铁和所述内侧磁铁之间的部分。