流体喷射装置及其制造方法

摘要

流体喷射装置(12)包括安装在基底(20)上的流体层组件(24)，流体层组件(24)具有在背对基底(20)的一侧(36)上形成的凸起(38)。在凸起部分(38)以外的流体层组件(24)的部分中形成第一喷嘴(16a)，在凸起部分(38)中形成较大的第二喷嘴。一种制造流体喷射装置(12)的方法，包括将第一光刻胶材料层(54)施加到基底(20)上，将第二光刻胶材料层(60)施加到第一层(54)上。依次曝光，形成了将成为第一喷嘴(16a)的第一层(54)中的可溶材料的第一区域(58a)和将联合形成第二喷嘴(16b)的分别在第一和第二层(54，60)中的可溶材料的第二和第三区域(58b，58c)。第二层(60)中的不溶材料区域(64)将成为凸起部分(38)。

主权项

一种流体喷射装置(12)，其包括：基底(20)；安装在所述基底(20)上的流体层组件(24)，所述流体层组件(24)具有面向所述基底(20)的第一侧(34)和背对所述基底(20)的第二侧(36)，所述流体层组件(24)包括形成在所述第二侧(36)上的凸起部分(38)，其中所述第一侧(34)形成室层(46)的底表面并且所述第二侧(36)形成第一孔层(54)的上表面，并且其中所述室层(46)形成在所述基底(20)上并且所述第一孔层(54)形成在所述室层(46)上；在所述流体层组件(24)的除所述凸起部分(38)以外的部分中形成的第一喷嘴(16a)；在所述流体层组件(24)的凸起部分(38)中形成的第二喷嘴(16b)，所述第二喷嘴(16b)比所述第一喷嘴(16a)具有更大的截面积。