Cleaning solution composition for electronic material and cleaning method using the same
摘要
<p>반도체 디바이스 또는 평판디스플레이(FPD) 기판과 같은 전자 재료의 제조 시 금속 패턴 형성 후, 기판 표면 세정에 상기 세정제 조성물을 사용하면, 금속의 부식을 억제하고, 기판상에 부착된 미세한 오염 입자, 변질 또는 경화된 포토레지스트 및 폴리머 잔류물 등을 용이하게 제거할 수 있다.</p>
