| 摘要 |
<p>본 발명의 목적은 3차원 곡면의 실제 형상 데이터를 이용하여 3차원 곡면에 홈을 패터닝 하여, 3차원 곡면과 홈의 정확도를 높이는 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치는, 3차원 곡면의 피가공 대상물을 장착하고 x축 및 y축 방향으로 구동되는 XY스테이지, 상기 XY스테이지의 상방에서 z축 방향으로 구동되는 Z스테이지, 상기 피가공 대상물을 향하는 대물렌즈를 z축 방향으로 이동시키도록 상기 Z스테이지에 장착되는 스탭 모터, 상기 Z스테이지에 장착되어 상기 대물렌즈로 레이저 빔을 조사하는 레이저 헤드, 상기 레이저 헤드와 상기 대물렌즈 사이에 설치되는 제1 빔 스플리터, 상기 Z스테이지에 장착되어 상기 3차원 곡면의 형상을 측정하는 공초점 광학계, 상기 공초점 광학계와 상기 대물렌즈 사이에 설치되는 제2 빔 스플리터, 및 상기 공초점 광학계에서 측정한 상기 3차원 곡면의 데이터에 따라 상기 XY스테이지, Z스테이지 및 스탭 모터를 제어하고, 상기 레이저 헤드의 출력을 제어하는 제어부를 포함한다.</p> |
