| 摘要 |
<p>본 발명은 모니터 기판을 사용하지 않고, 제품의 막두께를 실시간으로 직접 측정하여, 고정밀도로 측정하는 광학식 막두께 계측장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 광학식 막두께 계측장치는, 투광부와, 수광부와, 측정광을 기체(基體)로 반사하는 복수의 기체 유지수단 내의 내부 빔스플리터와, 복수의 내부 빔스플리터 중 가장 가까운 내부 빔스플리터로부터의 측정광을 전반사하는 내부 광반사 부재와, 복수의 내부 빔스플리터로부터의 측정광을 수광부로 향하여 반사하는 복수의 외부 빔스플리터와, 광반사 부재로부터의 측정광을 수광부로 향하여 반사하는 외부 광반사 부재를 구비하고, 내부 빔스플리터 및 내부 광반사 부재에 의해 반사된 측정광을, 기체를 투과시킨 후에, 외부 빔스플리터 및 외부 광반사 부재로 반사시켜서 수광부로 유도하여, 측정광을 수광하는 것을 특징으로 한다.</p> |
