具有开放热循环结构之长晶炉

摘要

一种具有开放热循环结构之长晶炉，包含一炉体、一承载基座及至少一热交换件。炉体包含一底部及围绕底部之至少一侧壁。承载基座设置于底部下，其并包含至少一凹部。凹部形成于承载基座周侧，并相对位于底部周缘下方。至少一热交换件接合于凹部，并互相衔接环绕承载基座。藉由外加之热交换件，可使炉体底部周缘区域温度降低，使其温度与炉体底部区域温度一致，进而获致良好之晶体品质。