高度量测装置

摘要

一种高度量测装置，适用于一晶圆针测机。晶圆针测机包括一晶圆测试平台及一清针平合，晶圆测试平台包括一第一平面，清针平台包括一第二平面，第一平面平行于第二平面。高度量测装置包括一基座及一雷射测距模组。基座包括平行于第一平面之一第三平面。雷射测距模组垂直地设置于基座之第三平台。雷射测距模组适于分别量测其与晶圆测试平台之第一平面以及清针平台之第二平面的距离，以获得晶圆测试平台之第一平面与清针平台之第二平面的高度差。