测试设备及其感测装置

摘要

一种测试设备及其感测装置。感测装置可用于量测一研磨头上之一鼓起薄膜上之一施压表面之压力分布。感测装置可包含一基板及一感测构件。感测构件可用于量测薄膜上之施压表面上之压力分布。感测构件可设置于基板上，且包含一外周缘，其中该外周缘靠近膜上之施压表面之边缘。