用于测量及侦测光学发射以及决定气体原子相对浓度之方法及装置

摘要

本发明之具体实施例系关于一或多个气体的构成要素之分析，例如自诸如电浆蚀刻或电浆增强化学汽相沈积(PECVD)之一半导体制程取样之一气体混合物。特定具体实施例向该样本之一电浆提供充足功率，以将大量分子与分子碎片解离成个别原子。藉由将充足功率(通常系一在3至40 W/cm3之间的功率密度)递送入该电浆，自个别原子之发射得到大部分发射峰值，从而建立有助于简化所研究气体的化学成分之识别的光谱。气体之构成要素的此类精确识别可允许精确决定在实行的程序之阶段，且尤其系允许侦测程序终点。