| 摘要 |
本发明的课题是在于提供一种可使构造本身简单化而实现小型化及低成本化，且可维持动作可靠度高的闸阀装置。;其解决手段乃闸阀装置12A~12D，系安装于用以对被处理体W施以特定的处理之处理室4A~4D的搬出入口37，从真空状态的搬送室6侧使上述被处理体通过的同时，开闭上述搬出入口，其特征系由：阀体52，其系以能够开闭上述搬出入口之方式设置；阀体支持杆54，其系于阀体的两端部，沿着对搬出入口之阀体的推压方向而设置；及凸轮机构56，其系连结于阀体支持杆，而时间序列地将往正交于阀体支持杆的方向之驱动力变换成阀体支持杆之往阀体的推压方向之推进力及往旋转阀体的方向之旋转力；所构成。 |
