半导体装置

摘要

本发明之目的在于提供一种半导体装置和其制造方法，为了减少因接触元件误对准造成的接触阻值的变化。本发明较佳具体实施例包括一非平面电晶体，其中该非平面电晶体包括位于一鳍之中的源极/汲极区域；一层间介电层，位于该非平面电晶体上；以及该些接触元件，穿过该层间介电层以形成到源极/汲极区域。该些接触元件较佳与该鳍的复数个表面接触，以便增加该些接触元件与该鳍之间的接触面积。