| 发明名称 |
用以产生具有嵌段共聚物之定向总成的奈米尺寸特征之方法 |
| 摘要 |
本发明提供用于制造供图案化一基板之印模及系统的方法，及由彼等方法产生之装置。 |
| 申请公布号 |
TWI396052 |
申请公布日期 |
2013.05.11 |
| 申请号 |
TW098103713 |
申请日期 |
2009.02.05 |
| 申请人 |
美光科技公司 美国 |
发明人 |
米尔瓦德 丹Ｂ;珊得胡 高提杰Ｓ |
| 分类号 |
G03F7/12;H01L21/02;C09D11/02 |
主分类号 |
G03F7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
