含氟共聚物、硷性显影性树脂组合物及硷性显影性感光性树脂组合物

摘要

本发明系一种硷性显影性树脂组合物及硷性显影性感光性树脂组合物，其含有含氟共聚物(E)，该含氟共聚物(E)系包含A区段与B区段之嵌段共聚物(C)；其中前述A区段系由一种以上之氟系单体(A)所得之含氟区段，前述B区段系由一种以上之非氟系单体(B)所得之含氟区段，A区段及/或B区段含有羟基；并将该嵌段共聚物(C)之一部份或全部羟基以多元酸酐(D)变性而获得者。使用含有本发明之含氟共聚物之硷性显影性树脂组合物之硷性显影性感光性树脂组合物，其拨墨性、硷性显影性、感度、解像度、透明性、密着性、耐硷性优良，可精度较好地形成微细图案。