发明名称 |
复合连结线与其制造方法 |
摘要 |
本发明揭露使用各种方法做成之积体电路用连结线。根据其中一种方法,一复合连结线被制作以使用于一积体电路。一传导材料被熔化并与一尺寸小于100微米之粒子材料混合以产生一混合物。该混合物被用以制作该复合连结线。 |
申请公布号 |
TWI396268 |
申请公布日期 |
2013.05.11 |
申请号 |
TW096118140 |
申请日期 |
2007.05.22 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
怀兰德 克里斯多夫 |
分类号 |
H01L23/49;C22C1/10;C22C32/00 |
主分类号 |
H01L23/49 |
代理机构 |
|
代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
|
地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |