成像面测量方法、曝光方法、元件制造方法以及曝光装置

摘要

一种曝光装置，其主控制装置(50)，是将光栅载物台(RST)移动至扫描方向，以照明光(IL)照明光栅(R)上之区域，该区域包括标记区域，该标记区域形成有所定的标记，透过投影光学系统(PL)形成至少1个标记的空间成像，该空间成像存在于前述标记区域内，并使用空间成像测量装置(59)测量此空间成像。主控制装置一面将光栅载物台移动至扫描方向，一面重复进行上述之空间成像的测量。而且，主控制装置，依据每一移动位置之前述各标记的空间成像测量结果，算出扫描成像面。此扫描成像面是由形成于光栅之图案像，以投影光学系统所形成。依据算出结果，主控制装置进行扫描曝光中之晶圆的聚焦．调平之控制。藉此，不必使用光栅(光罩)位置测量用感应器，就可以实现高准确地曝光。