| 摘要 |
本发明系提供一种抗光蚀组成物，其涂布均匀性优异，具有优越的抑制涂布后斑点之能力，可轻易地被使用在实际产业现场，并藉于大量生产时使用量的降低及大量生产时间的减少等效果，俾改变以使之成为良好的作业环境者。依本发明之抗光蚀组成物，其系包含有：(a)酚醛清漆树脂；(b)二叠氮系化合物；及(c)溶媒，系含有丙二醇甲基醚乙酸酯(propylene glycol methyl ether acetate；PGMEA)及三甲基丙烷二醇单异丁酸酯(2,2,4－trimethyl－1,3－penthanediolmono isobutylate；TMPMB)。 |
