| 摘要 |
一种用以拉出单晶的石英玻璃坩锅之制法包含：提供包含具有内壁、外壁和介于内壁和外壁之间之通道的熔融模具；提供由第一较粗SiO2粒子所组成的外层颗粒及自熔融模具壁内部上的外层颗粒形成外颗粒层；提供由第二较细SiO2粒子所组成的阻挡层颗粒及在外颗粒层上自阻挡层颗粒形成阻挡颗粒层；将负压施用于熔融模具壁外侧；加热阻挡颗粒层和外颗粒层以形成具透明内层的石英玻璃坩锅。自此，得以制造尽可能薄且均匀的密封层，及亦能够制造均匀内层，根据本发明，建议阻挡层颗粒的SiO2粒子应具有平均粒子尺寸(D50值)低于50微米及阻挡颗粒层之形成应包括将阻挡层颗粒固定至外颗粒层。 |
