发明名称 图案膜之制造方法及感光性树脂组合物
摘要 本发明提供一种图案膜之制造方法及该图案膜之制造方法中所用的感光性树脂组合物,该图案膜之制造方法中,于基板上形成感光性树脂组合物层,经由光罩且使用光选择性地曝光感光性树脂组合物层后,例如,并不藉由显像而去除未曝光部或曝光部的感光性树脂组合物层,而可获得于表面形成有凹凸的膜图案。图案膜之制造方法具备下述步骤:准备藉由光的照射来产生酸或硷而硬化的感光性树脂组合物;于基板2上涂布感光性树脂组合物,形成特定厚度的感光性树脂组合物层1;及经由光罩3使用光选择性地曝光感光性树脂组合物层1,使未曝光部的感光性树脂组合物的至少一部分移动至曝光部,进而进行硬化,获得于表面形成有凹凸图案的图案膜1A。
申请公布号 TWI396047 申请公布日期 2013.05.11
申请号 TW095138806 申请日期 2006.10.20
申请人 积水化学工业股份有限公司 日本 发明人 福井弘司;青木健一;市村国宏;末崎穰;江南俊夫;石泽英亮;云梯隆夫;小林洋
分类号 G03F7/028;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本