针对蓝宝石基板之蚀刻方法及图案化蓝宝石基板

摘要

本发明揭露一种针对蓝宝石基板之蚀刻方法及一种图案化蓝宝石基板。蓝宝石基板具有结晶方向为(0001)之上表面，并且复数个完整的三角锥结构自上表面突出。每一个三角锥结构具有一方向为(10　2)之第一结晶面、一方向为(0　12)之第二结晶面以及一方向为(　102)之第三结晶面。该等完整的三角锥结构之形成系藉由一第一蚀刻液蚀刻上表面上之部份区域以于上表面形成数个平顶的三角锥结构，接着再藉由一第二蚀刻液再度蚀刻该部份区域，致使该等平顶的三角锥结构形成该等完整的三角锥结构。