处理液供应单元、使用处理液供应单元的基板处理装置及方法

摘要

一化学液供应单元、一使用该单元的基板处理装置及方法被提供之。预湿喷嘴、光阻喷嘴及边缘液滴去除喷嘴设置于一单一个喷嘴臂上。因此，与喷嘴分别安装在各自的喷嘴臂的情况相比，设备安装的空间可被节省，使得设备安装的空间可较佳地被利用。