摘要 |
本发明提供非接触射出气体的轴承(3),可用来以高速譬如40公尺/分钟和以上的速度运送可弯曲玻璃片(13),譬如LCD基板。由在操作压力Pplenum下充气部份提供气体至流孔(22)以及在水平方向中在轴承最流孔(26)与每一最靠近邻近流孔(28)间之中点(27)处轴承具有计算出静压力Pmidpoint,其满足下列关系:Pmidpoint/Pplenum≧0.05。轴承能够减小以例如60公尺/分钟运行之LCD基板(13)与轴承(3)面(20)间的间隔平均波峰至波峰变化为小于500微米,因而减少基板(13)受到轴承(3)碰击以及损坏之机会。 |