蒸镀程序及蒸镀设备

摘要

一种蒸镀程序，其首先提供基板以及提供蒸镀遮罩，其中蒸镀遮罩上具有N个图案区域。另外，提供蒸镀源，其中蒸镀源具有多个蒸镀区域，且蒸镀源之每一个蒸镀区域对应蒸镀遮罩的至少一图案区域设置。接着，将蒸镀遮罩设置于基板与蒸镀源之间。之后，对基板进行第一次蒸镀程序。将基板转动90度之后，对基板进行第二次蒸镀程序。再次将基板转动90度之后，对基板进行第三次蒸镀程序。再次将基板转动90度之后，对基板进行第四次蒸镀程序。