发明名称 用以判定供检测晶片上故障用之关联值及用以判定晶片上位置的故障机率之方法与装置
摘要 一种用于判定关联值(R(i,m))之方法予以描述,每一关联值表示一第一数目(I)个输入节点之一输入节点(i)与一第二数目(M)个测量节点之一测量节点(m)之一组合之一关联以用于一晶片上一故障之一检测,该方法包含下列步骤:在该第一数目(I)个输入节点处施加一第三数目(K)次测试,其中该第三数目(K)次测试之每一测试(k)定义用于每一输入节点(i)之一测试输入选择(U(k,i));测量关于该第三多次(K)测试之每一测试(k)之在该第二数目(M)个测量节点之每一个之一信号以获得关于该第二数目(M)个测量节点之每一测量节点(m)之一第三数目(K)个测量值,其中每一测量值(Y(k,m))与其被测量的该测试(k)与其被测量处之该测量节点(m)相关联;判定该等关联值(R(i,m)),其中每一关联值基于关于该各个组合之输入节点(i)定义的该第三数目(K)个测试输入选择(U(k,i))及与该各个组合(i,m)之该测量节点(m)相关联之该第三数目(K)个测量值(Y(k,m))之间的一关联而计算。
申请公布号 TWI395959 申请公布日期 2013.05.11
申请号 TW098141872 申请日期 2009.12.08
申请人 爱德万测试(新加坡)私人有限公司 新加坡 发明人 瑞弗亚 乔辰
分类号 G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项
地址 新加坡