发明名称 |
包钯(Pd)铜球焊接合线 |
摘要 |
提供一种在球焊用钯被覆铜导线中,提高对于铝电极之接合可靠性。;在钯(Pd)中间层表面,形成由厚度5nm以下之极薄层所构成的金(Au)层,在包含氢气之惰性环境气体中进行热处理,藉中间层之钯侵入金极薄层,而细微的金相及钯相三维成长之史托蓝斯基.库拉司塔诺夫成长,形成金-钯混合层。;钯在热处理过程中吸收氢,藉热处理后急冷,使前述混合层安定化,伴随着在熔融球形成时,快速熔融以被覆导线端面之金,而到达端面之钯系熔融以均匀细微地分散在熔融球表面层,以抑制与铝之接合界面中的铝氧化。 |
申请公布号 |
TWI395823 |
申请公布日期 |
2013.05.11 |
申请号 |
TW101148611 |
申请日期 |
2012.12.20 |
申请人 |
田中电子工业股份有限公司 日本 |
发明人 |
高田满生;山下勉;执行裕之;桑原岳;冈崎纯一;齐藤茂 |
分类号 |
C22C47/00;C22C9/02;B23K35/30;H01L21/60;H05K3/34 |
主分类号 |
C22C47/00 |
代理机构 |
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代理人 |
游永谊 台北市中正区和平西路1段59号5楼之11 |
主权项 |
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地址 |
日本 |