发明名称 包钯(Pd)铜球焊接合线
摘要 提供一种在球焊用钯被覆铜导线中,提高对于铝电极之接合可靠性。;在钯(Pd)中间层表面,形成由厚度5nm以下之极薄层所构成的金(Au)层,在包含氢气之惰性环境气体中进行热处理,藉中间层之钯侵入金极薄层,而细微的金相及钯相三维成长之史托蓝斯基.库拉司塔诺夫成长,形成金-钯混合层。;钯在热处理过程中吸收氢,藉热处理后急冷,使前述混合层安定化,伴随着在熔融球形成时,快速熔融以被覆导线端面之金,而到达端面之钯系熔融以均匀细微地分散在熔融球表面层,以抑制与铝之接合界面中的铝氧化。
申请公布号 TWI395823 申请公布日期 2013.05.11
申请号 TW101148611 申请日期 2012.12.20
申请人 田中电子工业股份有限公司 日本 发明人 高田满生;山下勉;执行裕之;桑原岳;冈崎纯一;齐藤茂
分类号 C22C47/00;C22C9/02;B23K35/30;H01L21/60;H05K3/34 主分类号 C22C47/00
代理机构 代理人 游永谊 台北市中正区和平西路1段59号5楼之11
主权项
地址 日本