涂布膜用乾燥装置

摘要

本发明是一种涂布膜用乾燥装置，其以如下方式构成：于藉由加热装置(加热板)3而进行加热乾燥的乾燥区2内配置着上表面涂布着涂布液的基板4，且驱动装置7使基板支持用的两个支持装置5、6相对移动，藉此切换为其中一个支持装置5以多个点支持基板4下表面的形态、及另一个支持装置6以与其中一个支持装置5不同的多个点支持基板4下表面的形态，且，将驱动装置7配备于平面观察时较乾燥区2的周缘部更外方侧区域S上。