| 摘要 |
<p>본 발명은, 전구체를 대전시켜 분사하고, 분사된 전구체를 정전기적인력에 의해 피처리기판에 부착하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치에 있어서, 별도의 공급부로부터 액체 상태의 전구체를 공급받고, 공급받은 전구체를 콘 형태의 노즐 블록을 통해 피처리 기판에 에어로졸 상태로 분사하는 콘젯 분사노즐; 상기 콘젯 분사노즐을 통해 분사되는 전구체가 대전될 수 있도록 고전압을 인가하는 고전압 인가 장치; 상기 콘젯 분사 노즐의 외주면을 감싸도록 배치되어 상기 콘젯 분사노즐의 외측 둘레에서 상기 콘젯 분사 노즐의 분사 방향을 따라 가스를 분사하는 가이드 분사 유닛을 포함하고, 상기 가이드 분사 유닛은: 중공 파이프 형상으로 중심부에 상기 콘젯 분사노즐이 길이 방향으로 관통 결합되어 상기 콘젯 분사 노즐의 외측 둘레를 따라 가스 유입 유로가 형성되는 가이드 노즐; 및 상기 가이드 노즐에 가스를 공급하는 가스 공급 유닛을 포함하고, 상기 가이드 노즐에는 상기 가스공급유닛으로부터 가스가 공급되도록 일측에 유입구가 형성되고, 상기 콘젯 분사 노즐의 노즐 블록에 인접한 일단에는 유입된 가스가 분사되도록 노즐홀이 형성되고, 상기 콘젯 분사노즐 및 상기 가이드노즐은 복수 개가 구비되어 평면 배치 구조를 취하고, 상기 고전압 인가장치와 연결되고 상기 콘젯 분사노즐 및 상기 가이드노즐에 이격 배치되는 더미노즐을 구비하는 콘젯 모드 정전기 스프레이 장치를 제공한다.</p> |
