| 摘要 |
1. Способ получения графеновой пленки, включающий осаждение в вакууме углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, отличающийся тем, что предварительно подложку с катализатором нагревают до температуры, превышающей разложение углеродсодержащего газа, после чего производят последовательно кратковременный напуск углеродсодержащего газа и откачивание реактора с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложку с катализатором помещают в вакуум 10-10торр.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложку с катализатором нагревают до температуры 400-2000°C.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что напуск углеродсодержащего газа производят до давления 1-10торр.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что откачивание реактора производят через 1-300 с после напуска углеродсодержащего газа.6. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение реактора до комнатной температуры производят со скоростью 10-100°/мин.7. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего газа берут газ, выбранный из ряда: ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан или комбинация этих газов с инертным газом.8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве катализатора используют металл, выбранный из ряда: Fe, Ni, Cu, или комбинацию металлов, включающую по крайней мере два из вышеупомянутых.9. Способ по п.1, отличающийся тем, что пленка катализатора имеет толщину 1-5000 нм. |
