摘要 |
<p>이를 위하여, 본 발명은 보호막을 관통하는 컨택홀과 게이트 절연막까지 관통하는 컨택홀 중 외부홀을 회절 노광(또는 하프톤 투과)을 이용하여 형성함으로써 게이트 절연막까지 관통하는 컨택홀의 내부홀과 동일한 마스크 공정을 이용하면서도 보호막이 완만한 경사면을 갖게 하여 컨택홀을 경유하는 브릿지 전극의 오픈 불량을 방지하여 생산성을 향상시키고, 진행성 오픈 불량을 방지하여 화질을 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치와 그 제조 방법을 개시한다.</p> |