| 摘要 |
<p>배선 불량이 제거된 저저항 금속 배선을 구비한 표시 기판 및 이의 제조 방법이 개시된다. 게이트 배선들은 제1 방향으로 연장되어 형성된다. 소스 배선들은 게이트 배선들과 교차하는 제2 방향으로 연장되고, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금으로 형성된 제1 하부층 및 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 형성된 제1 상부층으로 이루어진다. 화소부들은 게이트 배선들과 소스 배선들에 의해 정의된다. 스위칭 소자는 각 화소부에 형성되고, 게이트 배선으로부터 연장된 게이트 전극과, 소스 배선으로부터 연장된 소스 전극을 포함한다. 화소 전극은 투명 도전 물질로 형성되어, 스위칭 소자의 드레인 전극과 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 이중막 구조(Mo/Al)로 금속 배선을 형성함으로써 배선 불량을 막을 수 있다.</p> |
