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发明名称 Self-aligned barrier and capping layers for interconnects
摘要
申请公布号 AU2013204553(A1) 申请公布日期 2013.05.09
申请号 AU20130204553 申请日期 2013.04.12
申请人 PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 发明人 GORDON, ROY GERALD;BHANDARI, HARISH;AU, YEUNG;LIN, YOUBO
分类号 H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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