| 摘要 |
<p>본 발명은 약액 도포노즐 및 이를 이용한 약액 도포장치에 관한 것으로, 최하단의 슬릿을 통하여 기판에 약액을 도포하는 약액 도포노즐에 있어서, 상기 슬릿에서 토출되는 약액이 기판 표면에 분산되지 않도록 저단이 기판 표면과 근접하며 약액 도포방향의 전방에 설치되는 제1립과, 상기 슬릿에서 토출되는 약액이 기판 표면에 분산되도록 저단이 상기 제1립의 저단 보다 기판 표면과 더 이격하며 약액 도포방향의 후방에 설치되어 상기 제1립과 결합되는 제2립을 포함하는 약액 도포노즐 및 이를 이용한 약액 도포장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 기판상의 약액에 의한 도포가 진행될 부위에 미리 약액을 분산시키는 것을 방지하여 약액을 요구되는 설정값에 따라 균일하게 도포할 수 있는 효과가 있다.</p> |
