Device for cooling solution in wet station

摘要

본 발명에 의하면, 수냉 및 공냉방식에 의해 저장부로 유입된 약액을 신속하게 냉각시킬 수 있어 약액의 배액에 소요되는 작업시간을 단축하여 습식처리에 소요되는 전체 텍트타임도 단축시키는 효과가 있다.